Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии (Бичлэгийн дугаар. 77113)
| 000 -УДИРДЛАГА | |
|---|---|
| Удирдлага | 01717 a2200205 4500 |
| 008 - ЕРӨНХИЙ МЭДЭЭЛЭЛ | |
| Ерөнхий мэдээлэл | 110605s9999 xx 000 0 rus d |
| 084 ## - ББК АНГИЛАЛ | |
| ББК ангилал | 32.85 |
| Зохиогчийн гурван тэмдэгт | Г-52 |
| 100 1# - ЗОХИОГЧ | |
| Зохиогчийн нэр | Глазков И.М. |
| 240 10 - Шифр - Номын наалт, тайланд хэрэглэх | |
| Ангилалын дугаар /Зохиогчийн 3 тэмдэгт | 32.85/Г-52 |
| 245 10 - ҮНДСЭН ГАРЧИГ | |
| Номын нэр | Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии |
| 260 ## - ГАРАЛТЫН МЭДЭЭ | |
| Хэвлэгдсэн газар | Орос |
| Хэвлэлийн газар | Советское радио |
| Хэвлэгдсэн он | 1975 |
| 300 ## - МАТЕРИАЛЫН ТОДОРХОЙЛОЛТ | |
| хуудасны тоо | 72 |
| 510 ## - CITATION/REFERENCES NOTE | |
| Name of source | Планария технология и требования к оборудованию для изготовления фотошаблонов и выполнения операций |
| -- | Основные прецизионные узлы оптико-механических установок для выполнения операций изготовления фотоша |
| -- | Оптико-механическое оборудование в производстве изделий микроэлектроники |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | электроника |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | фотошаблон |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | фотолитография |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | Планария технология и требования к оборудованию для изготовления фотошаблонов и выполнения операций |
| -- | Основные прецизионные узлы оптико-механических установок для выполнения операций изготовления фотоша |
| -- | Оптико-механическое оборудование в производстве изделий микроэлектроники |