Глазков И.М.
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии - Орос Советское радио 1975 - 72
Планария технология и требования к оборудованию для изготовления фотошаблонов и выполнения операций Основные прецизионные узлы оптико-механических установок для выполнения операций изготовления фотоша Оптико-механическое оборудование в производстве изделий микроэлектроники
205
электроника фотошаблон фотолитография
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии - Орос Советское радио 1975 - 72
Планария технология и требования к оборудованию для изготовления фотошаблонов и выполнения операций Основные прецизионные узлы оптико-механических установок для выполнения операций изготовления фотоша Оптико-механическое оборудование в производстве изделий микроэлектроники
205
электроника фотошаблон фотолитография