VLSI Electronics Microstructure Science (Бичлэгийн дугаар. 100481)
| 000 -УДИРДЛАГА | |
|---|---|
| Удирдлага | 00864nam a22003017a 4500 |
| 003 - ХЯНАЛТЫН ТОО ТОДОРХОЙЛОГЧ | |
| Код | MN-UlNUM |
| 005 - БИЧИЛТ ХИЙСЭН ОГНОО | |
| Тухайн бичилтийг бичсэн засварласан сүүлийн огноо | 20180912151256.0 |
| 008 - ЕРӨНХИЙ МЭДЭЭЛЭЛ | |
| Ерөнхий мэдээлэл | 130710t1984 xxu||||| |||| 00| 0 eng d |
| 020 ## - ISBN | |
| ISBN | 0-12-234108-2 |
| 084 ## - ББК АНГИЛАЛ | |
| Нэмэлт тусгалт | Бусад |
| ББК ангилал | 32.88 |
| Зохиогчийн гурван тэмдэгт | V-10 |
| Мэдлэгийн ялгаа | 3 - Техник |
| 240 1# - Шифр - Номын наалт, тайланд хэрэглэх | |
| Ангилалын дугаар /Зохиогчийн 3 тэмдэгт | 32.88 V-10 |
| 245 1# - ҮНДСЭН ГАРЧИГ | |
| Номын нэр | VLSI Electronics Microstructure Science |
| Бага гарчгийн мэдээ | Edited by N.G.Einspruch |
| Оролцогчдын тухай мэдээ | D.M.Brown |
| 260 ## - ГАРАЛТЫН МЭДЭЭ | |
| Хэвлэлийн газар | Academic Press, Inc. |
| Хэвлэгдсэн он | 1984 |
| Хэвлэгдсэн газар | NY |
| 300 ## - МАТЕРИАЛЫН ТОДОРХОЙЛОЛТ | |
| хуудасны тоо | 527 |
| 500 ## - Тайлбар | |
| Дансны дугаар | ГФ-15969 |
| 546 ## - ХЭЛНИЙ ТУХАЙ МЭДЭЭ | |
| Хэл | Англи хэл дээр, |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | electronics |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | technology |
| 653 ## - Түлхүүр үг | |
| Түлхүүр үг | plasma |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | The History of plasma processing |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | Sputtering for VLSI |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | Trilayer resist |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | Plasma sources for X-Ray lithography |
| 740 ## - НОМЫН ГАРЧИГ | |
| Гарчиг | Plasma sources for Deep-UV lithography |
| 942 ## - ЭЛЕМЕНТИЙН ТӨРӨЛ | |
| Зүйлийн төрөл | Ном |