• Энгийн харагдац
• MARC харагдац
• ISBD харагдац

Проблемы электронного материаловедения/ Редактор Кузнецов Ф.А.; - Орос Наука 1986 - 168



основополагающее значение материаловедения в развитии электроники химия поверхности полупроводников новые материалы и процессы сухой вакуумной микролитографии

ISBN: 900

Subjects--Index Terms: электротехника электронное материаловедение микроэлектроника