• Энгийн харагдац
• MARC харагдац
• ISBD харагдац

Гаряинов С.А.

Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем - Орос Сов.радио 1975 - 120



некоторые проблемы, связанные с созданием ИС, и диэлектрическая изоляция элементов методы изоляция элементов ИС диэлектрические подложки для изготовления полупроводниковых ИС

ISBN: 175

Subjects--Index Terms: электроника методы изоляции элементов ИС микроэлектроника