Текст томруулах:    
Чистяков Ю.Д.

Физико-химические основы технологии микроэлектроники - Орос Металлургия 1979 - 408



физико-химические основы процессов нанесения вещества на поверхность твердой фазы-подложки процессы механического удаления вещества

550

электроника технология микроэлектроника учебник