Чистяков Ю.Д.
Физико-химические основы технологии микроэлектроники - Орос Металлургия 1979 - 408
физико-химические основы процессов нанесения вещества на поверхность твердой фазы-подложки процессы механического удаления вещества
550
электроника технология микроэлектроника учебник
Физико-химические основы технологии микроэлектроники - Орос Металлургия 1979 - 408
физико-химические основы процессов нанесения вещества на поверхность твердой фазы-подложки процессы механического удаления вещества
550
электроника технология микроэлектроника учебник
