Текст томруулах:    
Бабад-Захряпин А.А.

Химико-термическая обработка в тлеющем разряде - Орос Атомиздат 1975 - 174



электрический разряд в газах получение диффузионных слоев нанесение покрытий газопроницаемость материалов в условиях разряда

500

физика физикатвердого тела химико-термическая обработка