Текст томруулах:    
Курносов А.И

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем - 2 - Орос Высшая школа 1979 - 367



эпитаксия фотолитография и фотошаблоны кондесация в вакууме

510

техника полупроводниковые приборы учебник диэлектрики полупроводники