Курносов А.И
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем - 2 - Орос Высшая школа 1979 - 367
эпитаксия фотолитография и фотошаблоны кондесация в вакууме
510
техника полупроводниковые приборы учебник диэлектрики полупроводники
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем - 2 - Орос Высшая школа 1979 - 367
эпитаксия фотолитография и фотошаблоны кондесация в вакууме
510
техника полупроводниковые приборы учебник диэлектрики полупроводники