Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок.Ч-1/
Редактор Кузнецов Ф.А.;
- Орос Наука Сибирское отделение 1977
- 327
1710
физика кристаллография полупроводники микроэлектроники
1710
физика кристаллография полупроводники микроэлектроники